}

8月23日,半导体行业研究机构SemiAnalysis在X平台发布系列推文,阐述3D NAND闪存制造从钨(Tungsten,W)向钼(Molybdenum,Mo)转型的技术逻辑。

3D NAND大约十年前就停止了横向缩小,转而靠垂直堆叠层数来提升存储密度。但当层数突破约300层后,连接每个存储单元的钨字线(word lines)遭遇了物理瓶颈:电阻过高、基于氟的化学工艺导致漏电,以及在超深孔中无法完成有效填充。

SemiAnalysis在推文表示:“钼不是一种优化,是300层以上NAND的必选项。”

与钨相比,钼具备三项关键优势:更低的电阻(带来更快的读写速度)、无需氟基化学工艺,以及在高深宽比结构中更好的填充能力。这三点恰好对应钨在深层堆叠中暴露出的三个核心缺陷,使得材料替换具有技术必然性,而非可选的工程改进。

行业现状:量产仍在2xx层,转折点已至

SemiAnalysis梳理了当前各大厂商的层数位置:铠侠/闪迪(Kioxia/SanDisk)处于218层,美光(Micron)276层,三星(Samsung)286层,SK海力士以321层处于行业前沿。

向3xx至4xx层的跃迁正在启动。SemiAnalysis估计,钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比,增长至2027年的约30%。

三大厂商全面押注

主要NAND制造商均已明确承诺转向钼工艺,时间表清晰:

三星是先行者,钼字线产品自2024年起已进入量产阶段。

美光于2025年在Lam Research的ALTUS Halo设备上启动大规模量产。

SK海力士计划于2026年底推出采用钼工艺的375层NAND。

设备商:超10亿美元的新增市场

每一次从钨到钼的转换,都意味着需要新的沉积设备。SemiAnalysis估计,仅2027年一年,NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元,并随着DRAM和逻辑芯片的跟进,到2030年增长至约20亿美元/年。

受益格局方面,Lam Research最先获益,TEL(东京电子)紧随其后;AMAT(应用材料)、ASMI及中国设备商Naura(北方华创)则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。SemiAnalysis表示,完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备(WFE)模型。